100℃～350℃（通常350℃）
対象品に応じた温度で処理可能。
（注）低温処理はご相談ください
耐プラズマエッチング性
反応性の気体（エッチングガス）やイオン、ラジカルによって材料をエッチング加工する際に、加工装置部品が同様にエッチングされる。
ELIPコートシリーズ
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01低温処理も可能（350℃以下）
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02絶縁物・樹脂へも処理可能
各種材質への成膜が可能。
（注）材質によっては試作が必要
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03酸化物・炭化物セラミックス被膜
100nm～10μｍ（MAX）の被膜施工
膜種・製品形状・材種によって制限あり
その他適用事例
ウエハ搬送アーム、リフトピン、ボルト、耐摩耗性、金属コンタミ防止／ELIP HS
金属汚染防止
金属部品によりウエハが金属汚染される。
ELIP HS表面粗さ
HS特長・用途
