- 半導体
- 機械部品
THOR Slick®/ THOR Slick®-C
半導体製造業界の歩留まり改善に! ESD対策用DLCコーティング
★信頼の証! 商標登録済み (登録日: 2026年1月28日、登録番号: 第7010152号)
THOR Slick ®/ THOR Slick®-C の特長
- POINT 01 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
- POINT 02 抵抗制御によるスローディスチャージでESD破壊対策 (THOR Slick®)
- POINT 03 帯電によるダスト吸着防止で歩留まり改善
- POINT 04 低抵抗仕様もラインナップ (THOR Slick®-C)
物質の抵抗値スケール
絶縁物と絶縁物上THOR Slick被膜のESD挙動
当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。