- 半導体
- 機械部品
THORスリック / NeoスリックC
被膜自身の機能を活かした半導体製造分野や特殊用途へ
THOR スリック / NeoスリックC 4つの特長
- POINT 01 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
- POINT 02 緩やかなESD（Electro Static Discharge：静電気）放電曲線（THORスリック）
- POINT 03 帯電によるダスト等吸着による生産性低下などの不具合対策
- POINT 04 より低抵抗化によるESD対策対応の多様化（NeoスリックC）
物質の抵抗値スケール
絶縁物と絶縁物上DLC被膜のESD挙動
当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。