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THOR Slick / THOR Slick-C
半導体製造業界の歩留まり改善に! ESD対策用DLCコーティング
THOR Slick / THOR Slick-C の特長
- POINT 01 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
- POINT 02 抵抗制御によるスローディスチャージでESD破壊対策 (THOR Slick)
- POINT 03 帯電によるダスト吸着防止で歩留まり改善
- POINT 04 低抵抗仕様もラインナップ (THOR Slick-C)
物質の抵抗値スケール
絶縁物と絶縁物上DLC被膜のESD挙動
当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。