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ELIP コート
超越した耐プラズマエッチング特性と耐熱＆電気特性を。ELIPcoatはJCCのPVD技術で開発した被膜です。酸化物や炭化物セラミックス被膜を緻密な結晶構造で成膜します。生成された被膜には電気的特性や耐熱特性等の化学的・物理的特性を付与します。被処理材に合わせた温度調整も可能です。
ELIPコート 3つの特長
- POINT 01 低温処理が可能（350℃以下）
- POINT 02 絶縁物・樹脂への処理も可能
- POINT 03 酸化物・炭化物セラミックス被膜
ELIP-RP（耐プラズマ性皮膜）
ELIP コートシリーズ
ELIP-HS（低温PVD製法アモルファス被膜）
当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。