- 半導体
- 機械部品
スリック-nano
スリック-nano 3つの特長
- POINT 01 平面においてナノオーダーの膜厚均一性が得られます
- POINT 02 セラミックスやゴムなどの絶縁物へのコーティングが可能です
- POINT 03 100℃以下の処理温度なので、プラスチックなどへのコーティングが可能です
機能
スリックnanoCの表面抵抗
φ300mmSiウエハでの膜厚分布
スリック-nanoHの摩擦特性
当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。