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| JCC最新技術情報 |
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| 鋼材対照表 |
鋼材対照表 ダウンロード(72.2kb) |
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| コーティング膜物質データ集 |
以下のデータはバルクのデータです。
出典;H. Holleck:
Metaerial selection for hard coatings,
J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6,
Nov/Dec 1986 |
| ■金属結合性物質 |
| |
密度(g/cm3) |
融点(℃)
|
硬度HV
|
ヤング率(kN/mm2)
|
電気伝導率(μΩcm)
|
熱膨張率(10-6K-1) |
| TiB2
|
4.50 |
3225 |
3000 |
560 |
7
|
7.8 |
| TiC |
4.93 |
3067 |
2800 |
470 |
52 |
8.0-8.6 |
| TiN |
5.40 |
2950 |
2100 |
590 |
25 |
9.4 |
| ZrB2 |
6.11 |
3245 |
2300 |
540 |
6 |
5.9 |
| ZrC |
6.63 |
3445 |
2560 |
400 |
42 |
7.0-7.4
|
| ZrN |
7.32 |
2982 |
1600 |
510 |
21 |
7.2 |
| VB2 |
5.05 |
2747 |
2150 |
510 |
13 |
7.6 |
| VC |
5.41 |
2648 |
2900 |
430 |
59 |
7.3
|
| VN |
6.11 |
2177 |
1560 |
460 |
85 |
9.2 |
| NbB2 |
6.98 |
3036 |
2600 |
630 |
12 |
8.0 |
| NbC |
7.78 |
3613 |
1800 |
580 |
19 |
7.2 |
| NbN |
8.43 |
2204(z.) |
1400 |
480 |
58 |
10.1 |
| TaB2 |
12.58 |
3037 |
2100 |
680 |
14 |
8.2 |
| TaC |
14.48 |
3985 |
1550 |
560 |
15 |
7.1 |
| CrB2 |
5.58 |
2188 |
2250 |
540 |
18 |
10.5 |
| Cr3C2 |
6.68 |
1810 |
2150 |
400 |
75 |
11.7 |
| CrN |
6.12 |
1050 |
1100 |
400 |
640 |
(2.3) |
| Mo2B5 |
7.45 |
2140 |
2350 |
670 |
18 |
8.6 |
| Mo2C |
9.18 |
2517 |
1660 |
540 |
57 |
7.8-9.3 |
| W2B5 |
13.03 |
2365 |
2700 |
770 |
19 |
7.8 |
| WC |
15.72 |
2776 |
2350 |
720 |
17 |
3.8-3.9 |
| LaB6 |
4.73 |
2770 |
2530 |
(400) |
15 |
6.4
|
|
| |
| ■共有結合性物質 |
| |
密度(g/cm3) |
融点(℃)
|
硬度HV
|
ヤング率(kN/mm2)
|
電気伝導率(μΩcm)
|
熱膨張率(10-6K-1) |
| B4C |
2.52 |
2450 |
3-4000 |
441 |
0.5×106 |
4.5(5.6)
|
| BN(kub.) |
3.48 |
2730 |
-5000 |
660 |
1018 |
… |
| C(diamond) |
3.52 |
3800 |
-8000 |
910 |
1020 |
1.0 |
| B |
2.34 |
2100 |
2700 |
490 |
1012 |
8.3 |
| AlB12 |
2.58 |
2150(z.) |
2600 |
430 |
2×1012 |
… |
| SiC |
3.22 |
2760(z.) |
2600 |
480 |
105 |
5.3 |
| SIB6 |
2.43
|
1900 |
2300 |
330 |
107 |
5.4 |
| Si3N4 |
3.19 |
1900 |
1720 |
210 |
1018 |
2.5 |
| AlN |
3.26 |
2250(z.) |
1230 |
350 |
1015 |
5.7 |
|
| |
| ■イオン結合性物質 |
| |
密度(g/cm3) |
融点(℃)
|
硬度HV
|
ヤング率(kN/mm2)
|
電気伝導率(μΩcm)
|
熱膨張率(10-6K-1) |
| Al2O3 |
3.98 |
2047 |
2100 |
400 |
1020 |
8.4 |
| AlTiO4 |
3.68 |
1894 |
… |
13 |
1016 |
0.8 |
| TiO2 |
4.25 |
1867 |
1100 |
205 |
… |
9.0 |
| ZrO2 |
5.76 |
2677 |
1200 |
190 |
1016 |
11(7.6) |
| HfO2 |
10.2 |
2900 |
780 |
… |
… |
6.5 |
| ThO2 |
10.0 |
3300 |
950 |
240 |
1016 |
9.3 |
| BeO |
3.03 |
2550 |
1500 |
390 |
1024 |
9.0 |
| MgO |
3.77 |
2827 |
750 |
320 |
1012 |
13.0 |
|
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| コーティング膜の耐薬品性 |
| コーティング膜として使用される窒化物の各種薬品に対する溶解量(金属としての量)を調査しました。各種窒化物粉10gを各溶液(原液)に浸せきし、1週間放置後(室温)の溶解量を測定しました。
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| 単位mg |
HCl
|
HNO3 |
H2SO4 |
H3PO4 |
CH3COOH |
10%NaOH |
NH4OH |
備考 |
| TiN#1 |
160 |
7000 |
140 |
120 |
2 |
<1 |
<1 |
|
| TiN#2 |
20 |
1400
(注2) |
10 |
10 |
1 |
<1 |
<1 |
#200Mesh |
| ZrN |
1100 |
1200 |
900 |
<1
(注1) |
1 |
<1 |
<1 |
|
| TaN |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
2 |
<1 |
|
| Cr2N |
420 |
5 |
320 |
1 |
<1 |
2 |
<1 |
|
| NbN |
30 |
<1 |
8
|
4
|
<1 |
<1 |
<1 |
|
| VN |
20 |
180 |
20 |
20 |
20 |
30 |
40 |
|
|
| 注1; |
ZrNはほぼ完全にH3PO4に溶け、水でメスアップした時Zr(OH)4として沈降した。分析値はこの沈殿を分離した後、溶液中に溶けているZrの量を測定したものである。 |
| 注2; |
サンプル量5g中の溶解量 |
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