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鋼材対照表
コーティング膜物質
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コーティング膜の
耐薬品性
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鋼材対照表
鋼材対照表 ダウンロード(72.2kb)
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コーティング膜物質データ集
以下のデータはバルクのデータです。
出典;H. Holleck: Metaerial selection for hard coatings, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986
■金属結合性物質
 
密度(g/cm3)
融点(℃)
硬度HV
ヤング率(kN/mm2)
電気抵抗率(μΩcm)
熱膨張率(10-6K-1)
TiB2
4.50
3225
3000
560
7
7.8
TiC
4.93
3067
2800
470
52
8.0-8.6
TiN
5.40
2950
2100
590
25
9.4
ZrB2
6.11
3245
2300
540
6
5.9
ZrC
6.63
3445
2560
400
42
7.0-7.4
ZrN
7.32
2982
1600
510
21
7.2
VB2
5.05
2747
2150
510
13
7.6
VC
5.41
2648
2900
430
59
7.3
VN
6.11
2177
1560
460
85
9.2
NbB2
6.98
3036
2600
630
12
8.0
NbC
7.78
3613
1800
580
19
7.2
NbN
8.43
2204(z.)
1400
480
58
10.1
TaB2
12.58
3037
2100
680
14
8.2
TaC
14.48
3985
1550
560
15
7.1
CrB2
5.58
2188
2250
540
18
10.5
Cr3C2
6.68
1810
2150
400
75
11.7
CrN
6.12
1050
1100
400
640
(2.3)
Mo2B5
7.45
2140
2350
670
18
8.6
Mo2C
9.18
2517
1660
540
57
7.8-9.3
W2B5
13.03
2365
2700
770
19
7.8
WC
15.72
2776
2350
720
17
3.8-3.9
LaB6
4.73
2770
2530
(400)
15
6.4
 
■共有結合性物質
 
密度(g/cm3)
融点(℃)
硬度HV
ヤング率(kN/mm2)
電気抵抗率(μΩcm)
熱膨張率(10-6K-1)
B4C
2.52
2450
3-4000
441
0.5×106

4.5(5.6)
BN(kub.)
3.48
2730
-5000
660
1018
C(diamond)
3.52
3800
-8000
910
1020
1.0
B
2.34
2100
2700
490
1012
8.3
AlB12
2.58
2150(z.)
2600
430
2×1012
SiC
3.22
2760(z.)
2600
480
105
5.3
SIB6
2.43
1900
2300
330
107
5.4
Si3N4
3.19
1900
1720
210
1018
2.5
AlN
3.26
2250(z.)
1230
350
1015
5.7
 
■イオン結合性物質
 
密度(g/cm3)
融点(℃)
硬度HV
ヤング率(kN/mm2)
電気抵抗率(μΩcm)
熱膨張率(10-6K-1)
Al2O3
3.98
2047
2100
400
1020
8.4
AlTiO4
3.68
1894
13
1016
0.8
TiO2
4.25
1867
1100
205
9.0
ZrO2
5.76
2677
1200
190
1016
11(7.6)
HfO2
10.2
2900
780
6.5
ThO2
10.0
3300
950
240
1016
9.3
BeO
3.03
2550
1500
390
1024
9.0
MgO
3.77
2827
750
320
1012
13.0
 
コーティング膜の耐薬品性
コーティング膜として使用される窒化物の各種薬品に対する溶解量(金属としての量)を調査しました。各種窒化物粉10gを各溶液(原液)に浸せきし、1週間放置後(室温)の溶解量を測定しました。
単位mg
HCl
HNO3
H2SO4
H3PO4
CH3COOH
10%NaOH
NH4OH
備考
TiN#1
160
7000
140
120
2
<1
<1
TiN#2
20
1400
(注2)
10
10
1
<1
<1
#200Mesh
ZrN
1100
1200
900
<1
(注1)
1
<1
<1
TaN
<1
<1
<1
<1
<1
2
<1
Cr2N
420
5
320
1
<1
2
<1
NbN
30
<1
8
4
<1
<1
<1
VN
20
180
20
20
20
30
40
注1; ZrNはほぼ完全にH3PO4に溶け、水でメスアップした時Zr(OH)4として沈降した。分析値はこの沈殿を分離した後、溶液中に溶けているZrの量を測定したものである。
注2;

サンプル量5g中の溶解量

 
 
 
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